基于衍射光栅和空间光调制器的点阵全息光刻方法

• 作者: 浦东林 胡进 陈林森 魏国军
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学制造 点阵全息 图阵全息 飞行曝光 空间光调制器
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 全息与信息处理
• 页码范围: 215-220
• 页数: 6页
• 分类号: O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0609006

摘要

讨论了现有各种点阵全息光刻系统的基本原理.提出了一种基于衍射光栅和空间光调制器数字微反射器(DMD)的点阵全息光刻系统和方法.实现了飞行曝光加工方式,相比现有的步进曝光方式,其加工效率和定位精度获得了大幅度的提升.基于频域分析理论讨论了影响所述光刻系统的分辨率、图形质量和焦深的主要因素.阐述了在该光刻系统中实现飞行曝光加工方式的基本原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦东林		22	47	4.0	5.0
2	陈林森		81	469	12.0	17.0
3	魏国军		19	170	8.0	12.0
4	胡进		11	49	4.0	6.0