长轴零件直流等离子体离子注入轨迹数值仿真研究

• 作者: 巩春志 张春雨 田修波 蔡明哲
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直流等离子体注入 Particle-in-cell模型 MATLAB软件 长轴 离子轨迹
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 443-448
• 分类号: TL61+2.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.05.02

摘要

直流等离子体离子注入是一种新的离子注入手段.本文基于particle-in-cell模型使用MATLAB软件对长轴零件直流等离子体离子注入进行数值仿真研究,主要考察工件到等离子体边界栅网距离、工件半径、工件电势以及离子种类对于离子注入范围和角度的影响.结果表明,工件到栅网的距离对注入结果的影响较大,距离增加导致离子注入相对范围缩小,注入倾斜角度减小.工件尺寸也会影响注入结果,当工件半径较小时,离子注入相对范围较大,注入角度波动也较大;也讨论了离子种类、工件电压不会对离子运动轨迹、注入位置和注入角度造成影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
2	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	张春雨	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	13	72	6.0	8.0
4	蔡明哲	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	2	3	1.0	1.0