集成电路芯片制造过程在线数据统计过程控制SPC分析系统及应用

• 作者: 周建民
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片制造 质量控制 SPC
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 应用专题
• 页码范围: 26-32
• 页数: 7页
• 分类号: TN406|TP399
• 字数: 5594字
• 语种: 中文

摘要

集成电路芯片制造过程采集大量在制品WIP和生产设备的数据,对采集的数据强化统计过程控制SPC的管理,加强对数据的各种实时监控,建立多种方式的报警,多形式的图形报表,以及相宜的SPC统计工具.通过提高过程稳定性和过程能力,加强对在制品稳定性和一致性的分析,可提高工程师现有的分析能力,从而有助于进一步提升制造能力.