阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析

• 作者: 付贵忠 叶存冬 孔德军 张垒
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: TiC基金属陶瓷刀具 AlCrN涂层 原子力显微镜 三维表面微观形貌 功率谱密度
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 477-482
• 分类号: O462.5|U177.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.05.08

摘要

利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析.结果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基体为85.8 nm,AlCrN涂层为175 nm,AlCrN涂层与TiC基体表面相对平整,阴极离子镀对表面粗糙度影响较小;AlCrN涂层表面高度值相对分散,支承系数大;AlCrN涂层平均颗粒直径1432nm,而TiC基体为1460 nm,根据Hall-Petch关系,AlCrN涂层的显微硬度远远高于TiC基体的显微硬度;AlCrN涂层和TiC基体功率谱分布无规律,材料表面均表现为各向异性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔德军	常州大学机械工程学院	95	414	9.0	13.0
3	张垒	常州大学机械工程学院	16	80	5.0	7.0
7	付贵忠	常州大学机械工程学院	20	105	6.0	8.0
9	叶存冬	常州大学机械工程学院	18	94	6.0	8.0