溅射镀膜用钛靶材制备工艺

• 作者: 付文杰 党鹏 刘松良 张清 邢秋丽 高维娜
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 钛靶材 制备工艺 退火 组织
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 43-46
• 分类号: TG146.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2014.12.010

摘要

比较了真空自耗电弧炉熔炼+锻造法及电子束熔炼法所制得钛板坯的组织均匀性,同时对不同温度退火后板材的组织性能进行了研究.结果表明,采用此法制得的板坯组织均匀,经轧制及700℃保温30 min,空冷退火后,晶粒尺寸和性能配合良好,均满足靶材用钛板要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢秋丽		11	14	2.0	3.0
2	付文杰		15	38	4.0	6.0
3	张清		8	11	2.0	3.0
4	党鹏		12	28	3.0	5.0
5	刘松良		9	8	2.0	2.0
6	高维娜		7	22	3.0	4.0