空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO2薄膜(上)

• 作者: Masato Yoshikawa Yoshinori Iwabuchi Yoshiyuki Kubo 范崇治
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 空心阴极气流溅射 沉积 光催化 TiO2
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 科普苑
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 字数: 1420字
• 语种: 中文

摘要

光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0～ 50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa.在氧气流量为30 sccm时,TiO2膜最大沉积率为162 nm/min,之后在空气中300℃,1h进行退火工艺,用来作光催化分解乙醛(CH3CHO),和一般反应溅射相比,后退火膜显示出非常高的光催化作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范崇治		11	0	0.0	0.0
2	Yoshiyuki Kubo		2	0	0.0	0.0
3	Yoshinori Iwabuchi		2	0	0.0	0.0
4	Masato Yoshikawa		2	0	0.0	0.0