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Ar/O2和Ar/H2O中大气压等离子体射流放电特性的比较
Ar/O2和Ar/H2O中大气压等离子体射流放电特性的比较
作者:
周亦骁
方志
邵涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
大气压等离子体射流(APPJ)
放电特性
放电参量
混合气体
发射光谱
摘要:
为了比较大气压下Ar/O2和Ar/H2O等离子体射流放电特性的区别,混入相同含量的O2和H2O,通过测量电压电流波形,Lissajous图形,发光图像,发射光谱等放电特性,研究了两种气体工作时,等离子体射流的放电特性和演变规律.计算放电功率、传输电荷、电子激发温度、分子振动温度、分子转动温度等主要放电参量后,研究了它们随外加电压幅值的变化趋势,并就趋势图和实验结果做机理分析和讨论.研究结果表明,两种气体下等离子体射流的放电形式为电晕放电、DBD以及射流形成等三个阶段,随着电压的增加,两种气体的射流长度不断增加.两种气体的发射光谱图中,产生的主要发光粒子均为OH、Ar、N2和O,气体温度在300~650K范围内,属于低温等离子体.在外加电压幅值为7~9.5kV范围内,Ar/H2O等离子体射流光谱强度要强于氩氧,通过对电子激发温度和分子转动温度的计算,发现Ar/O2和Ar/H2O的电子温度相差不大,但是Ar/H2O有更低的气体温度,更有利于处理热敏感材料.
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大气压等离子体射流
环境
气源组分
自由基
放电特性
发射光谱和化学特性
表面
应用研究
聚合物薄膜的大气压微等离子体射流无掩膜刻蚀工艺
微等离子体
聚合物薄膜
工艺参数
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内容分析
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文献信息
篇名
Ar/O2和Ar/H2O中大气压等离子体射流放电特性的比较
来源期刊
电工技术学报
学科
工学
关键词
大气压等离子体射流(APPJ)
放电特性
放电参量
混合气体
发射光谱
年,卷(期)
2014,(11)
所属期刊栏目
高电压技术
研究方向
页码范围
229-238
页数
10页
分类号
TM89|TM315
字数
4806字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
方志
南京工业大学自动化与电气工程学院
79
835
17.0
23.0
2
邵涛
中国科学院电工研究所
68
811
17.0
26.0
6
周亦骁
南京工业大学自动化与电气工程学院
1
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研究主题发展历程
节点文献
大气压等离子体射流(APPJ)
放电特性
放电参量
混合气体
发射光谱
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电工技术学报
主办单位:
中国电工技术学会
出版周期:
半月刊
ISSN:
1000-6753
CN:
11-2188/TM
开本:
大16开
出版地:
北京市西城区莲花池东路102号天莲大厦10层
邮发代号:
6-117
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
8330
总下载数(次)
38
总被引数(次)
195555
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
江苏省自然科学基金
英文译名:
Natural Science Foundation of Jiangsu Province
官方网址:
http://www.jsnsf.gov.cn/News.aspx?a=37
项目类型:
学科类型:
期刊文献
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电工技术学报2002
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