用于生物荧光检测的高灵敏CMOS双结深光电传感器设计

• 作者: 施朝霞 李如春
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 双结深 光电二极管 灵敏度 CMOS
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 585-588
• 分类号: TN491
• 语种: 中文

摘要

基于标准CMOS工艺,可实现单结深光电二极管传感器(p+/n-well、n-well/p-sub和n+/p-sub)和双结深光电二极管传感器(p+/n-well/p-sub).建立了双结深光电二极管传感器的光电响应数学模型,仿真了四种结构的光敏响应.采用上华0.5 μm CMOS工艺实现了p+/n-well和p+/n-well/p-sub两种结构,传感面积为100μm×100μm.p+/n-well型结构在400 nm波长,60 lux光强下光电流为1.55 nA,暗电流为13 pA,p+/n-well/p-sub型结构在同等条件下光电流为2.15 nA,暗电流为11 pA.测试表明,设计的双结深光电传感器具有更高的灵敏度,可用于微弱的生物荧光信号检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李如春	浙江工业大学通信与电子系	40	143	7.0	10.0
2	施朝霞	浙江工业大学通信与电子系	19	25	3.0	4.0