基于Windows+RTX平台的半导体实时测量软件系统的开发

• 作者: 狄非 许维胜
• 来源期刊: 大众科技
• 学科: 工学
• 关键词: RTX MFC 半导体测量 实时数据采集
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 信息技术与通信
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN30
• 字数: 2189字
• 语种: 中文

摘要

随着半导体技术的发展，对半导体生产工艺的测量和评估的需求也在不断地提高。为此针对某半导体测量设备的实时测量需求，在Windows+RTX的平台下，设计并开发了具有强实时性的测量软件系统。系统的底层测量软件利用RTX提供的API和精确的时钟开发完成，其运行在RTX拓展系统中控制数据采集卡实时采集数据。上层用户界面使用MFC编制完成，并采用信号量机制与底层软件进行通信，通过共享内存传递测量数据。该软件系统开发完成后，部署在某测量设备上并进行实验，其实验数据表明该系统能很好地完成实时数据测量的任务。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许维胜	同济大学电子与信息工程学院	153	1846	22.0	38.0
2	狄非	同济大学电子与信息工程学院	1	0	0.0	0.0