低迟滞MEMS电容式气压传感器设计

• 作者: 刘清惓 周晓
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 地球科学
• 关键词: 迟滞 有限元分析 电容 气压传感器
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: P412.1
• 字数: 3653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2014.02.006

摘要

针对传感器的机械迟滞问题,提出一种减小迟滞偏移的方法,设计了低迟滞误差的电容式气压传感器。使用ANSYS和FLUENT软件模拟电容式传感器的工作性能,分析传感器的温漂特性、电容灵敏度及加热功率与通孔大小的匹配问题。分析结果表明传感器的电容温漂为0.029 fF/K,电容灵敏度为30 fF/hPa；加热空腔气体可以驱动空腔内气压增加20 hPa,超过传感器的迟滞误差范围,为低迟滞误差传感器的设计和结构优化提供了依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘清惓	南京信息工程大学电子与信息工程学院	42	91	5.0	7.0
2	周晓	南京信息工程大学电子与信息工程学院	1	0	0.0	0.0