LC谐振式压力传感器的高温关键参数研究?

• 作者: 任重 李赛男 梁庭 洪应平 熊继军 赵卫军 郑庭丽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高温压力传感器 LTCC 电感 电容
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1332-1335
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.10.006

摘要

无线无源高温压力传感器在高温、高压等恶劣环境中应用日益广泛，其耐高温性能已成为衡量传感器的一项最基本且重要的指标。利用低温共烧陶瓷LTCC( Low Temperature Co￣Fired Ceramic)技术，分别设计和制作了陶瓷基片上电感及电容器件，并进行高温特性测试，通过讨论和分析确定了造成电感和电容随温度变化的原因。测试结果表明：在100℃~500℃温度范围内，电感L基本保持不变，等效串联电阻R增大了2.7倍，电容C增大了5.3％，从而LC谐振传感器的品质因数Q减小了72.8％。该测试及分析对高温环境下基于LC谐振式压力传感器的优化设计具有重要的指导意义。