高性能多功能超高真空金属二次电子发射特性测试平台

• 作者: 崔万照 张娜 张海波 曹猛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 物理电子学 二次电子发射 测试平台 超高真空系统
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 554-558
• 分类号: O462.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.05.22

摘要

介绍了一套高性能多功能的超高真空金属二次电子发射特性测试平台.该平台包含了超高真空系统、测试系统、原位表面处理系统和控制与数据处理系统四个部分,实现了在10-8 Pa的超高真空下准确测试金属材料的二次电子发射特性.该平台采用了偏压电流法和收集极法两种测试二次电子产额的方法,配置了全自动控制的双通道筒镜型电子能谱仪测试二次电子能谱,集成了氩离子清洗和热处理部件研究表面状况对二次电子发射特性的影响.在测试原理及功能介绍的基础上,展示了二次电子发射特性的典型测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海波	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	25	90	5.0	6.0
2	曹猛	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	25	109	6.0	9.0
3	张娜	中国空间技术研究院西安分院空间微波技术重点实验室	11	137	7.0	11.0
4	崔万照	中国空间技术研究院西安分院空间微波技术重点实验室	43	169	8.0	11.0