激光标刻系统几何失真的校正方法

• 作者: 夏斐 孙嘉兴 宫元九
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 振镜 几何失真 最速下降法
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TP278|TN249
• 字数: 3451字
• 语种: 中文

摘要

激光标刻系统的复合几何畸变并非其固有缺陷,畸变产生的原因在于简化的、近似的系统控制策略.依据扫描振镜的扫描几何公式,采用最速下降法解算了扫描振镜偏转角度的数值解,实现了目标标刻坐标到扫描振镜偏转角度的精确映射.在扫描振镜偏转角度数值解的基础上,利用扫描振镜复合几何畸变的对称特性性,通过在第1象限建立适当规模的误差校正表并采用插值算法进行失真校正.仿真实验结果表明,该方法能够在4象限实现满足精度要求的失真校正.通过将目标标刻坐标转换为归一化坐标,使得该校正方法对于不同焦距的扫描振镜具有广泛的适用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宫元九	辽宁大学信息学院	10	22	3.0	4.0
2	孙嘉兴	辽宁大学物理学院	17	52	5.0	6.0
3	夏斐		2	11	2.0	2.0