基于微梁的面内高g值加速度计设计?

• 作者: 李祥 李策 石云波 董胜飞 赵赟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 面内加速度计 微梁 高灵敏度 高量程 MEMS
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1310-1314
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.10.002

摘要

提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案。根据材料力学中悬臂梁的相关理论，建立了微梁检测结构的等效模型，推导出了微梁应力和中间主梁应力的比值的表达式。通过改变结构的尺寸来调节比值，可以设计出更高量程和更高灵敏度的压阻式传感器。利用ANSYS软件对微梁和中间主梁的最大应力及电阻区应力进行了仿真分析，验证了设计方案的可行性。完成了一种量程可达15万gn 的面内双轴高g值传感器的设计。