E-fuse阵列高效率测试验证方案及实现

• 作者: 张克堂 林光启 梅杰 胡启誉 赵瑞豪 陈礼清
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测试技术 电可编程熔丝 高效率 验证
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TN407
• 字数: 2482字
• 语种: 中文

摘要

随着电编程熔丝(E-fuse)技术在集成电路领域中的应用越来越广泛,对测试验证环节的要求也越来越高,测试人员也面临更大的挑战,因此在电编程熔丝开发过程中,如何提高E-fuse测试验证效率是研究的重点和难点之一.基于E-fuse阵列在测试验证上的效率低、样品需求多、数据分析难等问题,对现有的测试验证方法提出了一种E-fuse阵列bits层面上实现编程的测试方案.相比较传统测试流程,该方案可以节省38.8％甚至90％以上的测试验证时间,同时还具有测试设置方便、样品需求少、数据精确度高等特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈礼清	中芯国际集成电路制造有限公司产品部	1	0	0.0	0.0
2	林光启	中芯国际集成电路制造有限公司产品部	1	0	0.0	0.0
3	赵瑞豪	中芯国际集成电路制造有限公司产品部	1	0	0.0	0.0
4	梅杰	中芯国际集成电路制造有限公司产品部	1	0	0.0	0.0
5	胡启誉	中芯国际集成电路制造有限公司产品部	1	0	0.0	0.0
6	张克堂	中芯国际集成电路制造有限公司产品部	1	0	0.0	0.0