硅表面太赫兹抗反射亚波长结构设计

• 作者: 何少伟 王军 苟君 蒋亚东 陈鹏杰 黎威志
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长结构 严格耦合波理论 太赫兹 抗反射
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 621-624,667
• 分类号: TB303|O43
• 语种: 中文

摘要

亚波长结构是特征尺寸小于工作波长的连续阵列浮雕结构,可看成是一层折射率均匀的介质层,仅存在零级的透射和反射衍射.基于等效介质理论和严格耦合波理论介绍了亚波长抗反射结构.为提高111 μm波长太赫兹辐射(2.7 THz)的透过率,在硅表面设计了亚波长抗反射结构.该结构的透射率和反射率由其浮雕结构的周期、高度和占空比确定.利用等效介质理论和严格耦合波理论对其结构参数进行了优化设计.当周期为27 μm、高度为13 μm、占空比为0.75时,得到了99.05％的太赫兹辐射透过率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	黎威志	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	36	218	9.0	12.0
3	王军	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	936	14.0	26.0
4	苟君	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	7	20	1.0	4.0
5	何少伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	2	1.0	1.0
6	陈鹏杰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	2	1.0	1.0