一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析

• 作者: 刘云峰 董景新 陶永康
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 高g值加速度计 电容式微机械加速度计 微机电系统 仿真设计
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 页码范围: 1860-1866
• 页数: 7页
• 分类号: TH7
• 字数: 2867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2014.11.018

摘要

针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方式,并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析.仿真结果表明:该加速度计量程200 000 g,固有频率266.2 kHz,模态分离比大于2.5,0～10 kHz通频带内加速度分辨率优于60 g.基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证.相比已有的高量程微机械加速度计,该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器系	89	741	14.0	20.0
2	刘云峰	清华大学精密仪器系	51	405	12.0	16.0
3	陶永康	清华大学精密仪器系	4	11	2.0	3.0