光子计数探测器感应位敏阳极的电子云扩散

• 作者: 尼启良 张宏吉 陈波 韩素立
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外成像 光子计数探测器 感应位敏阳极 Ge膜电阻 电子云扩散
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1732-1736
• 页数: 5页
• 分类号: V447.3|TH724
• 字数: 2727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142207.1732

摘要

针对基于感应位敏阳极的光子计数成像探测器中非晶态Ge(α-Ge)膜的方块电阻对探测器成像性能的影响,研究了方块电阻的选配范围和方法.由于方块电阻的大小会影响Ge膜上的电子云的扩散特性从而影响探测器的计数率和分辨率,故本文根据菲克(Fick)扩散定律分析了吸收边界条件下非晶态薄膜上电子云的扩散特性.确定了电子云扩散时间与Ge膜方块电阻之间的数学关系,推导获得了探测器高质量成像时非晶态Ge膜方块电阻的阻值为30～2 700 MΩ/□.采用具有不同方块电阻的感应位敏阳极进行了实际成像实验,结果表明:当Ge膜方块电阻在上述范围时,光子计数探测器在计数率为53 kc/s时分辨率可以达到0.5 mm.实验结果证明了推导得出的方块电阻选配范围的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	167	1116	17.0	24.0
2	尼启良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	217	8.0	13.0
3	张宏吉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	63	5.0	7.0
4	韩素立	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	14	2.0	3.0