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摘要:
本文建立了一个二维全局模型对120 KG单晶硅炉的热系统进行了数值模拟.通过对温场的单独模拟以及温场流场的耦合模拟得到了不同模型下晶体生长所需要的功率,并将两组模拟值与实验数据进行对比得到了加入流体流动后系统所产生的功率损耗.同时对晶体生长过程的分阶段模拟得到了晶体生长过程热系统温度分布的变化规律以及熔体流动的变化规律.结果显示,在整个晶体生长过程中流体流动所产生的功率损耗占实际功率的21.6%左右.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Cz法单晶硅生长过程功率及流体流动的实验研究与数值模拟
来源期刊 人工晶体学报 学科 物理学
关键词 二维全局模型 数值模拟 流体流动
年,卷(期) 2014,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1438-1443,1452
页数 7页 分类号 O78
字数 4985字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱彤 同济大学机械与能源工程学院 120 1202 16.0 29.0
2 金超花 同济大学机械与能源工程学院 2 2 1.0 1.0
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二维全局模型
数值模拟
流体流动
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
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38029
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