几种激光干涉仪精度校准方法的分析

• 作者: 李立群 蒋丽雁 邓珂
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 精度校准
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 82-83
• 页数: 2页
• 分类号: TG806
• 字数: 1306字
• 语种: 中文

摘要

激光干涉仪的精度校准受到多种因素影响,是一个复杂的问题.本文讨论了三种激光干涉仪的精度校准方法.为了提高校准精度,应根据实际环境条件选择最合理的校准方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李立群	成都工具研究所有限公司	2	4	2.0	2.0
2	蒋丽雁	成都工具研究所有限公司	2	4	2.0	2.0
3	邓珂	成都工具研究所有限公司	1	2	1.0	1.0