基于条纹反射的光学表面疵病检测法

• 作者: 刘彬 赵文川 钟显云
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 表面检测 条纹反射 光学表面疵病 条纹处理
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 161-165
• 分类号: TP274
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20144309.0912007

摘要

提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘彬	中国科学院光电技术研究所	17	111	6.0	10.0
2	钟显云	中国科学院光电技术研究所	3	18	1.0	3.0
3	赵文川	中国科学院光电技术研究所	6	47	4.0	6.0