SiC过渡层制备温度对碳化硅/氟化类金刚石复合薄膜血液相容性的影响

• 作者: 佘清 江美福 潘越 钱侬
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 磁控溅射 血液相容性 附着力 SiC/F-DLC复合薄膜
• 年，卷（期）: 2014,（18）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 185204-1-185204-9
• 页数: 1页
• 分类号: 52.80.Pi|52.80.Vp|81.05.Uw|81.15.Cd
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.185204

摘要

以316L不锈钢为基底， SiC晶体为靶材， Ar为源气体，采用磁控溅射法在不同温度下制备出系列SiC过渡层。然后以高纯石墨作靶， Ar和CHF3为源气体，在同一工艺条件下再续镀一层氟化类金刚石(F-DLC)薄膜，形成SiC/F-DLC复合薄膜。研究表明，相比于F-DLC薄膜，复合薄膜的附着力显著增加，血液相容性明显改善。通过样品的拉曼和红外光谱分析了不同温度下制备的SiC过渡层以及复合薄膜结构的演变。结果表明，控制SiC过渡层制备温度可以有效调制过渡层中C=C键的比例以及-C-C-不饱和键的密度，复合薄膜中保留较高比例的芳香环式结构以及合适的F/C比是薄膜的血液相容性得以进一步改善的原因， SiC过渡层制备温度控制在500?C左右效果尤为明显。 SiC 薄膜和F-DLC两种薄膜的界面处形成一定比例的Si-C键和C=C键是导致复合薄膜附着力显著上升的直接原因。适当条件下在316L不锈钢和F-DLC薄膜之间增加SiC过渡层对于增强薄膜的附着力、改善其血液相容性是可行、有效的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江美福	苏州大学物理科学与技术学院	17	144	7.0	11.0
2	钱侬	苏州大学物理科学与技术学院	6	7	2.0	2.0
3	潘越	苏州大学物理科学与技术学院	5	24	4.0	4.0
4	佘清	苏州大学物理科学与技术学院	1	4	1.0	1.0