基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究

• 作者: 王韵致 谢芳 陈亮 马森
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤测量 干涉测量 台阶高度测量 在线测量
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 测量检测
• 页码范围: 1749-1753
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.14
• 语种: 中文

摘要

提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统.利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长.利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量.本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1 mm,测量分辨率小于1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈亮		8	3	1.0	1.0
2	谢芳		19	138	5.0	11.0
3	马森		5	17	2.0	4.0
4	王韵致		4	2	1.0	1.0