紫外压印长波红外亚波长结构的涂胶工艺研究

• 作者: 刘正堂 周潇逸 李俊 李阳平 王志俊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外压印 亚波长结构 涂胶 表面粗糙度 气泡 针孔
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2180-2187
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3668字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142208.2180

摘要

采用旋涂法进行了Si表面紫外固化胶涂布研究,并压印出了长波红外亚波长结构图形.用激光共聚焦显微镜观察了旋转涂布胶层的表面形貌,测量了表面粗糙度(Ra);用椭圆偏振仪测试了胶层厚度,扫描电子显微镜观察了压印图形的表面形貌,并用扫描探针显微镜测量了压印图形的结构高度.结果显示:当匀胶转速较小(如300 r/min)时,胶层中不会产生气泡及针孔等缺陷,胶层的Ra小,但胶层均匀性差;提高转速可以改善胶层均匀性,但同时胶层中会产生大量气泡和针孔等缺陷,且它们不会随匀胶时间的延长而消除.文中提出用四转速匀胶法来同时解决胶层均匀性和膜层气泡等问题,获得的胶层无气泡,Ra为317 nm时与Si衬底表面相当(324 nm),均匀性(最小厚度值与最大厚度值之比)为89.17％,胶层平均厚度为626 nm.结果表明:四转速涂胶法获得的胶层满足紫外压印长波红外亚波长结构的要求,压印的图形均匀、完整、保真性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志俊	凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院	1	3	1.0	1.0
2	李阳平	凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院	3	9	2.0	3.0
3	周潇逸	凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院	1	3	1.0	1.0
4	李俊	凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院	1	3	1.0	1.0
5	刘正堂	凝固技术国家重点实验室西北工业大学材料学院	7	21	3.0	4.0