微流体系统中微通道网络成形工艺研究进展

• 作者: 曹伟龙 田桂中
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体系统 微通道网络 制作材料 成形工艺 仿生微通道
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 127-133
• 页数: 7页
• 分类号: TH706
• 字数: 4909字
• 语种: 中文

摘要

微通道作为微流体系统的重要组成部分，是提高微流动性能的关键因素。现有微通道制作材料包括硅、石英和玻璃等无机材料，以及PDMS、PMMA、PC和环氧树脂等有机材料，而加工工艺主要有湿／干法刻蚀、热压成型、微／纳光刻技术、激光微加工和模塑法等类型。根据不同应用领域中微通道的功能需求和空间布置情况，可将微通道网络分为线性、平面和立体三种类型，综述了不同类型微通道网络成形工艺的国内外研究现状，其中线性和平面微通道网络的制作与成形一般是同时完成的，工艺较成熟，而立体微通道网络需分步实现，难度较大。探讨了现有微通道网络成形工艺的不足和发展趋势。简要介绍了玻璃基仿生微通道及其网络成形工艺研究进展。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田桂中	江苏科技大学机械工程学院	17	69	5.0	7.0
2	曹伟龙	江苏科技大学机械工程学院	2	16	2.0	2.0