LTCC在微流控系统中的应用

• 作者: 秦跃利 高能武
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: LTCC 微流控系统 综述 微通道 制作 内埋置
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TM28
• 字数: 2937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2014.11.001

摘要

介绍了LTCC腔体和微流道的用途、结构形式以及腔体的制作方法。详细分析了LTCC空腔在层压和共烧时产生变形的原因。介绍了采用碳基牺牲材料以及无牺牲材料形成内埋置通道的方法。最后介绍了LTCC微流控系统在水质检测中的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦跃利		6	11	2.0	3.0
2	高能武		3	8	2.0	2.0