运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究

• 作者: 崔洋 李佩玥 王学亮 郑楠
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻物镜 压电陶瓷 驱动电路 误差分析 亚微米
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN722.77
• 字数: 2158字
• 语种: 中文

摘要

为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路.针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分析了运算放大器放对系统精度的影响.首先,分析运放失调误差的影响;其次,使用PSpice仿真获得运放的固有频率特性,分析工作带宽下运放有限开环增益的影响;然后,对运放反馈网络的影响进行分析;最后,分析运放输出噪声的影响.计算表明,在最坏情况下该压电陶瓷驱动电路中由运算放大器引起的系统误差小于130 mV,满足系统误差分配的要求.试制了系统样机并进行了验证实验,实验结果表明由运放引起的系统误差不超过100 mV,与理论分析的结果符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王学亮	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	29	3.0	5.0
2	郑楠	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	14	58	5.0	6.0
3	李佩玥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	273	10.0	14.0
4	崔洋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	40	4.0	6.0