微缩投影系统的计算机辅助装调

• 作者: 于杰 周烽 王丽萍 王辉 谢耀
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微缩投影系统 集成装调 计算机辅助装调 敏感度矩阵 奇异值分解
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2103-2108
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TP391.7
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142208.2103

摘要

为了解决主次镜结构的微缩投影系统在计算机辅助装调过程中的补偿器耦合问题,实现补偿器的合理筛选,介绍了一种基于光学系统敏感矩阵奇异值分解的计算机辅助装调算法.建立了微缩投影系统装调模型,针对算法和模型开展了计算机辅助装调实验.用光学软件CODE V建立了光学系统模型,采用零位补偿器检测获得了非球面元件面形;基于灵敏度矩阵的分析结果指导微缩投影系统优化,并将优化后的结构参数作为系统光机结构机械装配和定位的基准.新建立的系统装调模型更接近实际装调过程,能更有效地指导装调,解决了补偿器间的耦合问题,加快了装调过程的收敛.最后,基于自行研发的高精度干涉仪完成了计算机辅助装调实验.实验显示系统波像差由46.39 nmRMS收敛至20.73 nmRMS,验证了装调算法和模型的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	215	3061	28.0	49.0
2	王丽萍	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	31	296	8.0	17.0
3	周烽	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	23	137	7.0	10.0
4	谢耀	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	14	3.0	3.0
5	于杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	15	3.0	3.0