基于二氧化硅溅射的PMMA和PDMS亲水改性

• 作者: 冯金扬 叶雄英 李子尚 马增帅
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 亲水改性 溅射 二氧化硅 等离子刻蚀
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2096-2102
• 页数: 7页
• 分类号: TQ320
• 字数: 2875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142208.2096

摘要

为了提高以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)为材料的微流体通道的浸润性,通过溅射SiO2对PMMA和PDMS进行了表面亲水改性处理.首先,对PMMA和PDMS进行氧等离子刻蚀,改变其表面形貌;然后,溅射SiO2进行表面亲水改性处理,由不同溅射时间得到不同厚度的SiO2薄膜.在亲水处理后一段时间之内对PMMA和PDMS表面分别进行接触角测量,评价不同条件下的改性效果,并对改性后的样片进行黏接性测试.结果表明:氧等离子刻蚀后,溅射时间10 min以上的PMMA表面可在10天内保持极亲水的状态;溅射时间15 min后的PMMA在35天之内接触角不超过10°;PDMS的亲水性可保持10天,接触角不超过60°;高温老化处理能延缓PDMS表面疏水性的恢复.实验结果显示:氧等离子刻蚀之后,溅射SiO2的方法可使PMMA和PDMS获得较长时间的表面亲水改性效果.另外,亲水改性处理后的PDMS之间仍可实现有效黏接,改性PMMA与未改性PDMS也能有效黏接.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶雄英	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	62	1070	15.0	31.0
2	冯金扬	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	20	3.0	4.0
3	马增帅	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	11	1.0	3.0
4	李子尚	清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	10	1.0	1.0