Au诱导形成有序Si纳米孔阵列及其应用

• 作者: 杨宇 杨杰 柯少颖 王海澎 王茺
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: Au诱导 聚苯乙烯小球 Si纳米孔 Ge/Si纳米阵列
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 098104-1-098104-8
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.098104

摘要

以自组装聚苯乙烯小球(PS)单层膜为掩膜,利用Au对Si表面的催化氧化作用以及KOH溶液对单晶Si的各向异性腐蚀特性,在Si (100)面上制备了一系列尺寸小于100 nm有序可控的Si纳米孔阵列。扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等的测试结果显示：当PS小球溶液与甲醇溶液的体积比为9：11时,可形成大面积无缺陷的单层膜；但当体积比过大时,会导致类似双层膜结构的形成；而当体积比过小时,会诱导形成点缺陷和线缺陷。对PS小球及溅射Au处理过的Si晶片进行KOH溶液腐蚀,随着腐蚀时间变长,纳米孔的横向尺寸和深度增大,其形貌由圆形逐渐变为倒金字塔型,当腐蚀时间超过10 min,纳米孔阵列的有序性遭到破坏。采用离子束溅射技术在倒金字塔型纳米孔衬底上获得了有序Ge/Si纳米岛,而在圆形纳米孔衬底上获得了有序Ge/Si纳米环。进一步对有序Ge/Si纳米岛及纳米环的形成机理进行了解释。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰	云南大学光电信息材料研究所	30	63	4.0	6.0
2	杨宇	云南大学光电信息材料研究所	101	377	9.0	12.0
3	王茺	云南大学光电信息材料研究所	50	148	7.0	8.0
4	柯少颖	云南大学光电信息材料研究所	3	13	3.0	3.0
5	王海澎	云南大学光电信息材料研究所	1	3	1.0	1.0