表面粗糙度对镍镀层结合性能的影响

• 作者: 刘瑞 周玉凤 汪红
• 来源期刊: 电镀与涂饰
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 阳极活化 镍镀层 表面粗糙度 界面结合强度
• 年，卷（期）: 2014,（19）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 815-817
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.12
• 字数: 1887字
• 语种: 中文

摘要

对玻璃基双层镍表面进行阳极活化以提高镍层之间的结合强度.阳极活化液组成和工艺条件为:NiCl2·6H2O 100 g/L,H3BO325g/L,pH 4.0,温度45℃,阳极电流密度10～30 mA/cm2,时间5～15 min.研究了电流密度和处理时间对镍镀层表面形貌、孤岛结合力、表面粗糙度和界面结合强度的影响,探讨了双层镍表面粗糙度和界面结合强度的关系.结果表明,在30 mA/cm2下阳极活化10 min后,双层镍的界面结合强度为629.8MPa,比盐酸活化试样高了近2倍.镍层表面粗糙度与界面结合强度之间有明显的对应关系,表面粗糙度越大,界面结合强度越高.采用阳极活化法可有效提高微机电系统微器件的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘瑞	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	12	301	6.0	12.0
2	周玉凤	上海工程技术大学机械工程学院	24	43	4.0	5.0