基于反馈的交流激励式电容测量电路设计

• 作者: 冯佳 尹志生 徐立松 李佩玥 隋永新
• 来源期刊: 国外电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容传感器 交流激励式 反馈电路 3458A
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TN911
• 字数: 2375字
• 语种: 中文

摘要

针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题，提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先，将传感器输出电压引出，乘以合适的倍数，加到初始激励源。然后，利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后，用八位半数字表3458A采集测量结果。实验结果表明，该系统在0～650μm范围内分辨率达30 nm ，电路测量最大偏差为20 nm ，示值稳定性0．1 mV／30 min。该系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	71	495	11.0	19.0
2	李佩玥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	273	10.0	14.0
3	徐立松	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	84	5.0	9.0
4	尹志生	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	47	5.0	6.0
5	冯佳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	5	25	3.0	5.0