一种悬浮石墨烯压力传感器的制造与建模

• 作者: 师帅 徐春林 方靖 汪学方 蒋圣伟 袁娇娇
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 压力传感器 拉曼光谱 膨胀试验 压力灵敏度
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 111-114,120
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2243字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种适用于纳机电系统(NEMS)的悬浮石墨烯压力传感器,并结合传统微机械加工工艺提出了压力传感器的制造过程.利用拉曼光谱表征了机械剥离法得到的不同厚度的石墨烯薄膜,验证了石墨烯“G”峰与“2D”峰的强度与薄膜厚度有关.基于薄膜膨胀试验方法,给出了悬浮于矩形、方形与圆形3种空腔的石墨烯薄膜的最大变形与压差的关系,并分别计算了3种形状下薄膜的压力灵敏度,可知矩形情况下单层石墨烯薄膜的压力灵敏度最大,当矩形宽度、方形边长或圆形直径越大,薄膜厚度越小时,压力灵敏度越高,计算表明:这种压力传感器具有高灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪学方	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	32	210	8.0	12.0
2	蒋圣伟	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	4	27	3.0	4.0
3	师帅	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	3	25	3.0	3.0
4	袁娇娇	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	3	25	3.0	3.0
5	方靖	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	3	25	3.0	3.0
6	徐春林	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	2	19	2.0	2.0