基于FPGA的MEMS测量控制系统的设计

• 作者: 孙晓伟 张瑞峰 杨庆 王少阳
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 频闪显微干涉 FPGA 声光调制器 千兆网相机
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 嵌入式技术
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 3211字
• 语种: 中文

摘要

基于频闪显微干涉(stroboscopic interferometer vision system,SIVS)技术,提出了一种MEMS三维动态测量的同步控制系统.在该系统中,频闪的参数通过有USB功能的MCU从PC配置到FPGA中,然后由FPGA分别控制测量系统中的声光调制器、MEMS驱动器、微动平移台和千兆网相机.结合开发的应用软件,可以实时测量MEMS的运动.计算表明,使用该系统所能测量的MEMS的理论最高周期运动频率为1 MHz.实验证明这种方法行之有效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张瑞峰	天津大学电子信息工程学院	37	334	11.0	16.0
2	王少阳	天津大学电子信息工程学院	2	7	1.0	2.0
3	孙晓伟	天津大学电子信息工程学院	2	7	1.0	2.0
4	杨庆	天津大学电子信息工程学院	10	45	4.0	6.0