化学气相沉积法制备石墨烯的铜衬底预处理研究

• 作者: 冯伟 张建华 杨连乔 王浪
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 石墨烯 铜 预处理 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2014,（17）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 176801-1-176801-7
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.176801

摘要

铜作为一种在化学气相沉积法制备石墨烯中被广泛采用的衬底材料，其表面形貌和质量对石墨烯的品质有较大的影响。提出了一种简单有效的铜衬底预处理方法，在生长石墨烯前，将铜衬底在浓度为1 mol/L的硝酸铁水溶液中进行预刻蚀，研究了不同刻蚀时间的影响。发现当预刻蚀时间为90 s时，经石墨烯生长后得到了相对平整且无杂质颗粒的表面；与盐酸预刻蚀及电化学抛光方法进行了比较，实验结果表明，硝酸铁溶液预刻蚀的效果优于盐酸处理，可与电化学抛光效果比拟，且操作更为简单快捷。经过不同型号铜衬底实验验证，此方法具有普遍适用性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯伟	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	50	545	14.0	21.0
5	张建华	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	106	709	13.0	21.0
6	杨连乔	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	11	62	5.0	7.0
7	王浪	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	3	10	2.0	3.0