基于低温共烧陶瓷的无线无源传感器设计

• 作者: 康昊 李晨 杨明亮 熊继军 谭秋林
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷 无线无源 无线检测 平面螺旋电感 平行板电容器
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2597字
• 语种: 中文

摘要

设计一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器.电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路,采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备.传感器利用LC谐振回路的谐振频率对不同压力的响应来表征传感器的应变特性,采用2个电感耦合的方式来实现无线检测.测试结果显示:传感器的谐振频率随外加压力的增大而减小,其谐振频率变化对压力的响应灵敏度约为331.70 kHz/bar.