三乙醇胺浓度对固结磨料研磨垫自锐性能的影响

• 作者: 夏磊 左敦稳 朱永伟 李军 王晓明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 固结磨料研磨垫 自锐 三乙醇胺 石英晶体 磨损率
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3287-3293
• 页数: 7页
• 分类号: O786|TN305.2
• 字数: 3442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142212.3287

摘要

采用不同浓度的三乙醇胺研磨液研磨石英晶体,基于研磨垫磨损率和工件与研磨垫的磨损比,分析了三乙醇胺浓度对石英晶体的去除率及其去除稳定性、研磨垫磨损率、磨损比、研磨摩擦系数、声发射信号和研磨后表面质量的影响.结果表明:随着三乙醇胺浓度的增加,工件与研磨垫磨损比先增大后减小,石英晶体的材料去除率和去除稳定性也对应地先增大后减小,摩擦系数先减小后增大,声发射信号先增加后减小,研磨后工件表面质量先变好后变差.当三乙醇胺浓度为5％时,石英晶体的材料去除率最大,去除率随时间变化最稳定,研磨垫使用寿命最长,表面质量最好.结果表明:研磨液中添加适量的三乙醇胺,会稳定石英晶体加工过程,延长研磨垫使用寿命,提高工件表面质量,降低生产成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李军	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	69	660	16.0	22.0
2	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
3	王晓明	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	4	46	3.0	4.0
7	夏磊	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	4	70	4.0	4.0