气体静压节流器高准确度气压源的研制

• 作者: 李东升 李加福 程阳 胡佳成
• 来源期刊: 液压与气动
• 学科: 工学
• 关键词: 高稳定度气压源 模糊PID 二级串联 气体静压节流器
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究 设计
• 页码范围: 27-30,34
• 页数: 5页
• 分类号: TH138|TP271+.3
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2014.03.006

摘要

摘妻:高压气体润滑方式在超精密领域得到了广泛应用.传统的气压源存在供气量少或稳定性差的缺点,难以满足当前气体静压节流器所需的高压力稳定度的气源要求,为此采用二级串联控制方法以及模糊PID算法设计了一种仪用高稳定度气压源系统.首先对该系统的软、硬件设计方案进行了简单介绍,其次对气压源整体性能进行了相关实验.实验结果表明:当气体流量在0～15 L/min范围时,该系统可获得高稳定的气体压力,且相对误差小于1.14％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东升	中国计量学院计量测试工程学院	176	977	16.0	19.0
2	胡佳成	中国计量学院计量测试工程学院	46	118	5.0	8.0
3	程阳	中国计量学院计量测试工程学院	10	19	3.0	3.0
4	李加福	中国计量学院计量测试工程学院	14	44	5.0	6.0