激光辐照诱导氧化铝陶瓷基板表面化学镀铜

• 作者: 卢泽龙 吴玉程 朱流 程继贵 罗来马 谌景波 黄新民
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: Al2O3陶瓷基板 激光辐照处理 化学镀铜
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 184-188
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

采用激光辐照处理对Al2O3陶瓷基板进行预处理,经过超声波辅助化学镀在Al2O3陶瓷基板表面成功制备了化学镀铜层.利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和能谱(EDS)研究分析了激光辐照预处理前后Al2O3基板表面形貌和Al2O3基板化学镀铜表面以及截面形貌,划痕形貌,并与传统贵金属Pd活化预处理化学镀铜进行对比.试验结果表明:激光辐照处理后Al2O3基板表面出现了大量的微孔和纳米级颗粒凸起,这些表面缺陷易于吸附外来物质成键,实现化学镀铜过程,其中镀层与基底也有较好的结合力;与传统Pd活化预处理化学镀铜对比发现,激光辐照处理避免了繁琐的工艺和贵金属带来的污染,同时生成的化学镀铜层颗粒与颗粒之间融合更好.