非球面超精密气浮式测头设计及仿真

• 作者: 唐昆 尹韶辉 彭杰宏 胡天 陈逢军
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 气浮式测头 空气静压轴承 气腔 仿真
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1279-1284,1285
• 页数: 7页
• 分类号: TG87
• 字数: 4448字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2014.10.001

摘要

非球面接触式测量过程中,采用空气静压轴承的气浮式测头,可以减小测量探针对被测表面的压力和测头移动过程中所受的摩擦力。设计了一种非球面超精密气浮式测头,采用工程算法对其方形空气静压轴承进行了尺寸设计,建立了三种采用不同节流孔形式的轴承设计模型,同时分别对这三个轴承工作时内部的气流以及整个测头内部的气流建立了有限元模型,并采用 Fluent 流体计算软件对以上气流模型的气压分布、压强以及流量进行了仿真计算,预测了测头的静态性能。结果表明,测头刚度可达1.77 MN/m,测头与被测表面之间的接触力可控制在0.1~7 mN 之间,所消耗空气流量最多为3.6 m3/h,满足测头设计要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈逢军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	43	418	10.0	18.0
2	尹韶辉	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	66	540	12.0	20.0
3	唐昆	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	8	36	3.0	6.0
4	胡天	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	3	28	2.0	3.0
5	彭杰宏	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	1	1	1.0	1.0