不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响

• 作者: 彭景云 徐冬梅 朱常任 权祥 焦富强 邓敏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅晶体 籽晶 位错
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 2743-2746
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 2266字
• 语种: 中文

摘要

通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好.采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐冬梅		84	349	11.0	13.0
2	焦富强		18	48	4.0	6.0
3	邓敏		6	16	2.0	4.0
4	权祥		8	18	2.0	4.0
5	朱常任		2	16	2.0	2.0
6	彭景云		1	12	1.0	1.0