基于有限元法的面形反演模型

• 作者: 刘永明 刘震宇 田伟 谢军 隋永新
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量,度量学
• 页码范围: 67-72
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20144308.0812001

摘要

为利用有限元法和面形检测结果反演出光学元件的面形,对面形检测结果进行分解,并对旋转平均法面形检测原理进行分析,讨论采用忽略光学元件自身面形的理想几何模型对其旋转非对称项面形误差进行有限元计算的理论可行性.在此基础上提出了基于有限元法反演光学元件面形的反演模型.以三点球支撑6 inch平面镜为例,建立接触有限元模型计算旋转非对称项面形误差,对比了数值法和N步旋转平均法所获得的镜面旋转非对称项面形误差,结果显示,二者的旋转非对称项面形均方根值为分别为2.944 nm和2.762 nm,两种方法获得的面形相减结果分别为二者的6.31％和6.73％.最后对比了面形反演的面形结果与N步旋转平均法所获得的面形检测结果,结果显示,二者的面形均方根值分别为3.535 nm和3.351 nm,两种方法获得的面形相减结果分别为二者的11.67％和11.06％.证明提出的反演模型准确可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	217	9.0	14.0
2	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
3	谢军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	202	7.0	13.0
4	刘震宇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	51	5.0	5.0
5	刘永明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	23	3.0	4.0