基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测

• 作者: 刘世元 刘思思 孙堂友 彭静 徐智谋 武兴会 赵文宁 邹超 陈修国 马智超
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 纳米压印 光栅 无损检测 拟合
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 039101-1-039101-5
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.039101

摘要

本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅，利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量，随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合，结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性，在入射角60?，方位角75?的测量条件下，纳米结构关键尺寸、侧壁角等三维形貌参数的测量精度最大可达99.97%，该技术对于无损检测有着一定的推动意义.