垂直外腔面发射半导体激光器的热管理方法研究

• 作者: 全恩臣 徐向涛 戴特力 方刚 朱仁江
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直外腔面发射半导体激光器 热管理 键合 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与装置
• 页码范围: 12-13
• 页数: 2页
• 分类号: TN244.8
• 字数: 1057字
• 语种: 中文

摘要

垂直外腔面发射半导体激光器在高功率运转的同时可以保持良好的光束质量，近年来一直成为研究的热点。本文介绍了垂直外腔面发射半导体激光器的结构及运行原理。由于热管理是其高功率运行的主要限制因素之一，分析了垂直外腔面发射半导体激光器的热管理方法。使用反向生长的外延片通过化学湿法腐蚀去掉砷化镓衬底，得到了约6μm左右的外延片，最后利用808nm的泵浦光进行抽运获得了200mW的连续激光输出。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱仁江	重庆师范大学物理与电子工程学院重庆市高校光学工程重点实验室	26	79	4.0	8.0
2	戴特力	重庆师范大学物理与电子工程学院重庆市高校光学工程重点实验室	29	325	8.0	17.0
3	全恩臣	重庆师范大学物理与电子工程学院重庆市高校光学工程重点实验室	3	12	1.0	3.0
4	徐向涛	重庆师范大学物理与电子工程学院重庆市高校光学工程重点实验室	5	15	2.0	3.0
5	方刚	重庆师范大学物理与电子工程学院重庆市高校光学工程重点实验室	3	12	1.0	3.0