二维零位光栅自动纳米定位系统

• 作者: 劳召欣 李家文 胡衍雷 褚家如 陈宇航 黄文浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二维零位光栅 自动对准 定位算法 电路噪声 精度分析
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2444-2450
• 页数: 7页
• 分类号: TP273|O436.1
• 字数: 3175字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142209.2444

摘要

搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统.首先,加工了栅格间距为5 μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路,实现了系统数据采集、显示和运动控制等功能.在此基础上搭建了基于二维零位光栅的纳米定位系统,并利用积分法实现了二维方向的自动定位.实验结果表明,系统定位速度对透射光强分布具有很高的依赖性,系统一次定位的成功率与初始位置密切相关.若起始位置在以零位为中心,半径为2.5 μm圆形区域内,系统可实现纳米量级定位对准;当起始位置在以零位为中心,5～200 μm为半径的圆环范围内,自动定位可能存在盲点,但通过改变初始位置重新进行搜索,仍然能够准确地实现纳米定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	陈宇航	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	20	96	6.0	8.0
3	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
4	李家文	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	87	4.0	9.0
5	胡衍雷	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	9	18	3.0	4.0
6	劳召欣	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	0	0.0	0.0