用于光栅拼接的微位移驱动器的精度分析

• 作者: 沈林勇 王成刚 章亚男 葛磐 钱晋武
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅拼接 纳米定位 驱动器 误差分析 实验测试
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 数据采集及信号处理
• 页码范围: 117-122
• 页数: 6页
• 分类号: TP2
• 字数: 3741字
• 语种: 中文

摘要

为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度.根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小.通过对机构爬行现象的分析,近似计算出由于导轨间动静摩擦系数不同导致的爬行量的大小.实验测试结果显示,驱动器的运动分辨率可达到10nm,运动过程中具有很好的重复性,而且驱动器可以长时间保持很好的稳定性.该研究结论对后期光栅调整架的设计具有很大的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈林勇	上海大学精密机械工程系	134	1055	17.0	23.0
2	钱晋武	上海大学精密机械工程系	118	1033	18.0	25.0
3	章亚男	上海大学精密机械工程系	125	995	17.0	24.0
4	王成刚	上海大学精密机械工程系	5	21	3.0	4.0
5	葛磐	上海大学精密机械工程系	1	4	1.0	1.0