负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定

• 作者: 于淼 崔洋 彭吉 李佩玥
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 负温度系数 热敏电阻 不确定度 不确定度来源 温度传感器
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器及非电量检测技术
• 页码范围: 104-106,111
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 2445字
• 语种: 中文

摘要

光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素,影响光刻机最终的线宽,因此对光刻系统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求.本文对负温度系数的热敏电阻及其R-T特性进行简介,并针对工业级热敏电阻温度传感器进行了不确定分析,分别计算了标准测温仪引入的不确定度分量、标准温度传感器引入的不确定度分量以及测量重复性引入的不确定度分量,分析得到使用的工业级热敏电阻温度传感器合成不确定度为2.178m℃,扩展不确定度为为4.356m℃,满足对光刻系统内高精度温度测量的指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于淼	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	20	134	6.0	11.0
2	李佩玥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	273	10.0	14.0
3	崔洋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	40	4.0	6.0
4	彭吉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	6	32	4.0	5.0