浅面浮雕矩形台面垂直腔面发射半导体激光器

• 作者: 刘云 宁永强 张建 张建伟 张星 李秀山 秦莉 贾鹏 陈泳屹
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 半导体激光器 矩形台面 浅面浮雕
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.1202005

摘要

为实现垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)大功率窄线宽输出,设计了浅面浮雕矩形台面结构的垂直腔面发射激光器(SR VCSEL).电流密度分布会影响模式的分布,模拟结果表明,矩形台面VCSEL相比于圆形台面VCSEL,在有源区面积增大的情况下,电流密度分布不变.在矩形台面VCSEL出光孔表面刻蚀浅面浮雕后,高阶模式比基模的阈值增益的变化大,基模对高阶模式的抑制增强.理论结果表明,矩形浅面浮雕结构的VCSEL能够实现对高阶模式的抑制,测试结果得到连续输出为5.87 mW,光谱宽度为0.1 nm,功率偏振度为10,横向模式抑制比超过30 dB的窄线宽输出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	113	802	13.0	25.0
2	张星	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	193	8.0	13.0
3	宁永强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	191	9.0	13.0
4	秦莉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	50	185	8.0	13.0
5	刘云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	99	706	15.0	23.0
6	贾鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	18	3.0	4.0
7	张建伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	30	2.0	5.0
8	陈泳屹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	10	2.0	3.0
9	李秀山	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	6	1.0	2.0