石英钟罩对MPCVD金刚石膜沉积的影响

• 作者: 丁明清 冯进军 李莉莉 潘攀 胡健楠
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体化学气相沉积 金刚石 钟罩 沉积速率
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 2586-2591
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3018字
• 语种: 中文

摘要

为了提高高品质金刚石膜的沉积速率,利用CST三维电磁场仿真软件,模拟了Diamo Tek700微波等离子体化学气相沉积设备中,在忽略等离子体存在的前提条件下,石英钟罩的厚度和形状对沉积金刚石膜的基片表面电场分布的影响.同时采用壁厚3 mm,3.5 mm和4mm的平顶和壁厚4 mm的圆顶钟罩分别进行了金刚石膜的沉积实验.模拟结果显示,对于同一类型的石英钟罩,壁厚的变化(3 ～4 mm)对基片表面平均电场影响不大;而壁厚相同的圆顶钟罩情况下基片表面平均电场则比平顶的高出10％.壁厚4 mm的圆顶石英钟罩得到了相对较高且均匀的电场分布.结果表明,沉积速率与模拟的基片表面电场强度存在对应关系;采用壁厚4 mm圆顶钟罩与原厂设计的壁厚3 mm平顶钟罩相比,在相同的工艺条件下,沉积速率提高一倍,达到1.4 μm/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室	84	447	12.0	17.0
2	丁明清	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室	16	102	6.0	10.0
3	潘攀	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室	3	4	1.0	2.0
4	李莉莉	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室	6	8	2.0	2.0
5	胡健楠	北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家重点实验室	2	4	1.0	2.0