基于石英和载玻片的微电极制备工艺研究

• 作者: 孙东 张晓飞 张洋 熊继军 薛晨阳 谭秋林
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微流控芯片 光刻工艺 微电极 介电泳
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 32-34,41
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 1949字
• 语种: 中文

摘要

研究以石英片和载玻片为基底的微电极制备工艺,以较常见的叉指型电极为例,基于光刻工艺中各工艺参数要求,重点研究曝光和显影时间对微电极的影响.制得的2种不同基底的电极,采用对比度、精度等关键参数进行分析,最终确定选用载玻片作为芯片基底并获得其最佳工艺参数;制作带电极的PDMS-玻璃微流控芯片,通过实验,成功观察到酵母菌细胞的正、负介电泳现象.